[实用新型]显影装置有效
| 申请号： | 201220520555.5 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202794853U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 刘畅;郝静安 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种显影装置，通过添加一气吹喷嘴，用气体对涂覆在晶圆表面中心的显影液进行吹拂，使其均匀分散在晶圆表面，让晶圆中心与边缘显影的效果一致，使冲洗出的晶圆中心和边缘的光刻胶层的开口大小相同，从而降低刻蚀出晶圆衬底的关键尺寸大小均匀性的差异，进而提高晶圆的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 装置 | ||
【主权项】：
一种显影装置，其特征在于，包括：反应腔室；基座，固定在所述反应腔室内底部；电子卡盘，下表面固定在所述基座的顶部；显影喷嘴，悬空固定于所述电子卡盘的上空；显影管路，由所述反应腔室外伸入，并与所述显影喷嘴相连接；气吹喷嘴，悬空固定于所述电子卡盘的中心正上空；气体管路，由所述反应腔室外伸入，并与所述气吹喷嘴相连接。
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