[实用新型]离子源灯丝安装装置有效
| 申请号： | 201220521271.8 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202839520U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 曹旭东;何春雷 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/18 | 分类号： | H01J9/18 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种离子源灯丝安装装置，在安装离子源灯丝时，使用定位模具放置在离子源灯丝和阴极体腔的内底部之间来固定间隙的宽度，使用第一固定部件和第二固定部件分别固定好离子源灯丝和阴极体，并移走定位模具，确保离子源灯丝和阴极体间隙的距离在生产工艺要求的范围之内，从而降低离子源灯丝安装的失败率，节省安装时间。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 灯丝 安装 装置 | ||
【主权项】：
一种离子源灯丝安装装置，包括：一阴极体，提供一侧设有开口的腔室；一阴极棒，一端由开口伸入所述阴极体腔室内并固定在与所述开口相对的腔室侧壁上，另一端位于腔室外并沿远离开口的方向延伸；一离子源灯丝，一端由开口伸入所述阴极体腔室内，并与所述阴极体和所述阴极棒均保持一定间隙；第一固定部件，固定所述离子源灯丝的另一端；第二固定部件，固定所述阴极棒位于腔室外的一端；其特征在于，还包括：一定位模具，一端由开口伸入所述阴极体腔室内并延伸至与所述开口相对的腔室侧壁和所述离子源灯丝之间的间隙中，另一端在腔室外并沿远离所述开口方向延伸。
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