[实用新型]一种测液硅压力传感器有效
申请号: | 201220523382.2 | 申请日: | 2012-10-12 |
公开(公告)号: | CN202956240U | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 刘铁辉 | 申请(专利权)人: | 深圳恒敏传感科技有限公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种测液硅压力传感器,主要由变送器与接插件组成,变送器通过导线与接插件连接,所述变送器内部腔体中设有传感器组件与补偿电路组件,其中,传感器组件包括传感器裸片、邦定线、传感器支架、PCB板,所述邦定线的两端分别与所述传感器裸片及所述PCB板相连接,所述PCB板的表面设有传感器引出线,所述传感器引线的另一端与所述补偿电路组件相连接,所述传感器支架设置于所述传感器裸片的外侧,所述传感器支架通过固定件将所述PCB板与所述密封圈设置于所述壳体内部的腔体中。本实用新型体积小、结构简单、精度高、可靠性好,寿命长,抗冲击能力强、使用方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 测液硅 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种测液硅压力传感器,其特征在于:主要由变送器与接插件组成,变送器通过导线与接插件连接,所述变送器内部腔体中设有传感器组件与补偿电路组件,所述补偿电路组件设置于所述传感器组件的外侧,所述传感器组件包括传感器裸片、邦定线、传感器支架、PCB板,所述传感器裸片通过高性能粘接胶固定于所述PCB板的表面,所述传感器裸片的内部设有采用硅与玻璃制成的引压腔或背压腔,所述邦定线的两端分别与所述传感器裸片及所述PCB板相连接,所述PCB板的表面设有传感器引出线,所述传感器引线的另一端与所述补偿电路组件相连接,所述PCB板的下侧表面还设有密封圈与缓冲塞,所述缓冲塞设置于所述密封圈内部,所述传感器支架设置于所述传感器裸片的外侧,所述传感器支架通过固定件将所述PCB板与所述密封圈设置于所述变送器壳体内部的腔体中。
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