[实用新型]低熔点金属气动化学预处理提纯装置有效
申请号: | 201220526289.7 | 申请日: | 2012-10-15 |
公开(公告)号: | CN202925074U | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 康云飞;乔文;钟晓露 | 申请(专利权)人: | 南京隆润半导体材料有限公司 |
主分类号: | C22B9/05 | 分类号: | C22B9/05;C22B43/00;C22B58/00 |
代理公司: | 北京嘉予铭知识产权代理有限责任公司 11407 | 代理人: | 彭晓云 |
地址: | 211511 江苏省南京市化学工业园新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种低熔点金属气动化学预处理提纯装置,包括预处理瓶,所述预处理瓶设于保温槽中,预处理瓶进气管端设有空气过滤器,预处理瓶出气管端设有水喷射真空泵。本实用新型提高了预处理效率,处理2次可将金属杂质降低至1ppm以下;预处理瓶内产生气体酸碱雾通过出气管吸入循环水箱回收再利用,降低了试剂成本,减轻了环境影响,降低了设备成本;高效空气滤网滤去灰尘等可吸入颗粒无需使用压缩空气,降低了空气净化成本;通过调整水喷射泵的流速调整负压,使得整个体系呈较安全的微小负压状态,安全可靠;可串联使用很多预处理瓶,无需增加更多的设备,扩产简单;预处理瓶进气管喷头朝下设置,不会被固体杂质堵塞,可时刻保证通畅。 | ||
搜索关键词: | 熔点 金属 气动 化学 预处理 提纯 装置 | ||
【主权项】:
一种低熔点金属气动化学预处理提纯装置,包括预处理瓶(4),其特征是:所述预处理瓶(4)设于保温槽(2)中,预处理瓶进气管(7)端设有空气过滤器(1),预处理瓶出气管(10)端设有水喷射真空泵(3)。
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