[实用新型]气泡释放阀有效
| 申请号： | 201220531752.7 | 申请日： | 2012-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN202892987U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 吴良辉 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/02 | 分类号： | B01D19/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气泡释放阀，其包括设有液体输送管道的阀壳、装设于该阀壳内用于控制液体输送通断的气动阀以及与该气动阀联动的气泡释放装置；所述气泡释放装置包括与所述液体输送管道连通的气泡释放管道以及一端设置第一弹簧，另一端与气动阀的连接杆相连用于控制气泡释放管道通断的滑块。本实用新型的气泡释放阀在气动阀关闭时，气泡释放管道开启，使化学液体进行回流，形成动态平衡，大大减少气泡的产生，且气泡由于自身的浮力作用跟随化学液体从气泡释放管道排出到化学液体供应槽；在气动阀开启时，气泡释放管道关闭，避免分流，且流体流速稳定，没有气泡流经流量计，从而使流量计稳定并测量准确，降低误报警的几率，提高生产产量。 | ||
| 搜索关键词： | 气泡 释放 | ||
【主权项】：
一种气泡释放阀，其特征在于：该气泡释放阀包括设有液体输送管道的阀壳、装设于该阀壳内用于控制液体输送通断的气动阀以及与该气动阀联动的气泡释放装置；所述气泡释放装置包括与所述液体输送管道连通的气泡释放管道以及一端设置第一弹簧，另一端与气动阀连接用于控制气泡释放管道通断的滑块。
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