[实用新型]一种集成倾角可控MEMS微镜的器件有效
| 申请号： | 201220535427.8 | 申请日： | 2012-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN203191634U | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 谢会开;周亮;陈巧 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 214028 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，包括MEMS微镜、基底、电引线，所述电引线设置于所述基底上，所述MEMS微镜与所述基底之间连接有驱动臂，所述MEMS微镜底部无支撑地悬空设置，所述驱动臂上集成设置有反馈电路，以实时反馈MEMS微镜的偏转角度。该器件的MEMS微镜与入射光源成一定角度倾斜，无需额外基座，且其倾斜角度可以自由控制；单片MEMS微镜集成，MEMS微镜的电连接设置于基底上，方便操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 倾角 可控 mems 器件 | ||
【主权项】：
一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，包括MEMS微镜（1）、基底（3）、电引线（31），所述电引线（31）设置于所述基底（3）上，其特征在于：所述MEMS微镜（1）与所述基底（3）之间连接有驱动臂（2），所述MEMS微镜（1）底部无支撑地悬空设置。
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