[实用新型]夹具和携动件

摘要

本实用新型涉及夹具和携动件。本实用新型涉及用于平的衬底的运输装置的领域。本实用新型尤其涉及夹具和其在轴上的固定。根据本实用新型的用于能运输穿过具有处理液的处理池的平衬底的夹具（1）具有：能插装到能旋转的轴（2）上的套筒（3），套筒在其壳面（3A）上具有至少一个突出的、环绕的、用于衬底的接触面（4）和两个端部（5A、5B）；和用于将力从轴（2）传递到套筒（3）上的至少一个携动件（6A；6B），其特征在于，携动件（6A；6B）能够力配合和/或形状接合地在所述套筒（3）的侧向上定位在轴（2）上并且具有爪（7A），所述爪与设置在套筒（3）的朝向爪的端部（5A；5B）上的凹部（7B）配合。

主权项

夹具（1），所述夹具用于能运输穿过具有处理液体的处理池的平的衬底，所述夹具具有：能插装到能旋转的轴（2）上的套筒（3），所述套筒在其壳面（3A）上具有至少一个突出的、环绕的用于衬底的接触面（4）和两个端部（5A、5B）；以及用于将力从所述轴（2）传递到所述套筒（3）上的至少一个携动件（6A；6B）， 其特征在于，所述携动件（6A；6B）能够力配合和/或形状接合地在所述套筒（3）的侧向上定位在所述轴（2）上并且具有爪（7A），所述爪与设置在所述套筒（3）的朝向所述爪的端部（5A；5B）上的凹部（7B）配合。