[实用新型]一种掩膜板清洁装置有效
| 申请号： | 201220542121.5 | 申请日： | 2012-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN202824005U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王灿;王伟杰;何璇;焦士搏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李娟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及掩膜板清洁技术领域，公开了一种掩膜板清洁装置，包括：粒子检测室，内部具有粒子检测装置；对掩膜板进行清洁的清洁单元；夹持并移动所述掩膜板的机械手装置。上述掩膜板清洁装置，机械手装置将掩膜板放入粒子检测室内进行检测，通过粒子检测室内的粒子检测装置对掩膜板表面进行检测，处理当掩膜板表面没有粒子污物时，该掩膜板可以直接使用，无需清洁；当掩膜板表面存在粒子污物时，机械手装置将该掩膜板放入清洁单元中进行清洁，将粒子污物去除，无需返回生产厂商进行清洁，缩短掩膜板的清洁周期，提高生产的连续性，提高产率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种掩膜板清洁装置，其特征在于，包括：粒子检测室，内部具有检测掩膜板表面粒子信息的粒子检测装置；根据所述粒子检测装置采集的粒子信息，当掩膜板的表面存在粒子污物时对掩膜板进行清洁的清洁单元；夹持并移动所述掩膜板的机械手装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220542121.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：油箱加油主管清洗吹干一体化装置
- 下一篇：一种再生塑料清洗系统
