[实用新型]多晶硅片脱胶工装有效
申请号: | 201220542347.5 | 申请日: | 2012-10-23 |
公开(公告)号: | CN202846730U | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 张凌松 | 申请(专利权)人: | 宿迁宇龙光电科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人: | 谢观素 |
地址: | 223700 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅片脱胶工装,包括框架,所述框架内贴着框架前后框设有晶托架,所述晶托架的一端上部设有晶托的定位装置,与晶托架平行、在晶托架的下方依次设有两根夹杆、两根托架,所述晶托架、夹杆、托架的两端连接于框架两端框。用本实用新型进行多晶硅片脱胶工装时,通过晶托一端的挂杆端部固定于定位杆之间,将晶托位置固定;通过夹杆、托架和插片,将多晶硅片夹紧并固定。从上述工作过程可知,用本实用新型进行多晶硅片的脱胶工装时,既方便快捷、工作效率高,又能保证多晶硅片在脱胶过程中不会散落损毁,降低了不必要的生产损耗,减少了生产成本,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 多晶 硅片 脱胶 工装 | ||
【主权项】:
一种多晶硅片脱胶工装,其特征在于:包括框架(1),所述框架(1)内贴着框架(1)前后框设有晶托架(4),所述晶托架(4)的一端上部设有晶托(11)的定位装置,与晶托架(4)平行、在晶托架(4)的下方依次设有两根夹杆(3)、两根托架(5),所述晶托架(4)、夹杆(3)、托架(5)的两端连接于框架(1)两端框。
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