[实用新型]高频感应加热式蒸发源有效
| 申请号： | 201220545430.8 | 申请日： | 2012-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN202881374U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 张果;王伟;姜玉伦;晋照春 | 申请（专利权）人： | 爱发科东方真空（成都）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/20 |
| 代理公司： | 成都立信专利事务所有限公司 51100 | 代理人： | 冯忠亮 |
| 地址： | 611731 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型为高频感应加热式蒸发源，安装座（6）上部圆盘上有同心凸台（11），外坩埚（2）位于凸台上，外坩埚（2）的外表面有感应线圈（5），压块（10）上端有凸缘压在线圈（5）上端，压块（10）通过螺栓与安装座上的支架连接，安装座（6）下面的轴与调节杆（8）的内腔竖向滑动配合，由锁紧螺钉（7）固定，调节杆（8）的下端与安装导轨（9）水平滑动配合，有固定螺栓（12），内坩埚（1）位于外坩埚（2）内，内、外坩埚之间有隔热层（3）。本实用新型解决已有蒸发源蒸镀膜厚不均，调节不便，安装不稳定，使用寿命短，易损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 感应 加热 蒸发 | ||
【主权项】：
高频感应加热式蒸发源，其特征在于安装座（6）上部圆盘上有同心凸台（11），外坩锅（2）位于凸台上，外坩埚（2）的外表面有感应线圈（5），压块（10）上端有凸缘压在线圈（5）上端，压块（10）通过螺栓与安装座上的支架连接，安装座（6）下面的轴与调节杆（8）的内腔竖向滑动配合，由锁紧螺钉（7）固定，调节杆（8）的下端与安装导轨（9）水平滑动配合，有固定螺栓（12），内坩埚（1）位于外坩埚（2）内，内、外坩埚之间有隔热层（3）。
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