[实用新型]高温减压扩散炉

摘要

本实用新型涉及高温减压扩散炉，包括石英管，石英管的一端为石英管口并在石英管口处装石英门，而石英管的另一端与工艺气体排气管连接，所述石英管口包括同圆心的石英管内端口和置于石英管内端口外侧且半径大于石英管内端口半径的石英管外端口；所述石英门安装在石英管内端口，而石英管外端口安装不锈钢炉门，所述石英门与不锈钢炉门构成过渡腔，并在过渡腔内的石英门与不锈钢炉门之间安装缓冲固定装置；所述不锈钢门上设有向过渡腔内通入气体的吹扫气体进气口和从过渡腔内排放气体的吹扫气体排气口。本实用新型通过设置过渡密封腔，大幅减少了石英门两端的压力差和石英门的受力，简化了石英门的设计，大幅降低了石英的应力损伤。

主权项

一种高温减压扩散炉，包括石英管（10），石英管（10）的一端为石英管口并在石英管口处装石英门（8），而石英管（10）的另一端与工艺气体排气管（12）连接，其特征是，所述石英管口包括同圆心的石英管内端口（20）和置于石英管内端口（20）外侧且半径大于石英管内端口（20）半径的石英管外端口（21）；所述石英门（8）安装在石英管内端口（20），而石英管外端口（21）安装不锈钢炉门（1），所述石英门（8）与不锈钢炉门（1）构成过渡腔（15），并在过渡腔（15）内的石英门（8）与不锈钢炉门（1）之间安装缓冲固定装置（7）；所述不锈钢门（1）上设有向过渡腔（15）内通入气体的吹扫气体进气口（2）和从过渡腔（15）内排放气体的吹扫气体排气口（3）。