[实用新型]一种磷化铟生长材料烘烤炉

摘要

本实用新型涉及一种磷化铟生长材料烘烤炉。所述烘烤炉包括烘烤炉外套1、加热棒2、绝缘陶瓷件4及石英管3。烤炉外套1由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套外壁由不锈钢制作，夹套内嵌有绝缘陶瓷件4及加热棒2，石墨电阻加热棒2分8组通过绝缘陶瓷件4平行均匀排列固定在夹套内壁，每组中的石墨电阻由三根加热棒相互串联在一起，每组石墨电阻加热棒单独控制，不锈钢外表与绝缘陶瓷件4之间填充有隔热材料，以起保温作用。石英管3一端封口，以便与真空抽取系统连接。本实用新型磷化铟生长材料烘烤炉控温精准，升降温速度快，炉腔系统密封性好，使磷化铟生长材料的质量得到保证。

主权项

一种磷化铟生长材料烘烤炉，其特征在于：所述烘烤炉包括烘烤炉外套、绝缘陶瓷件、加热棒及石英管。烘烤炉外套由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套外壁由不锈钢制作，夹套内嵌有绝缘陶瓷件及加热棒，不锈钢外壁与绝缘陶瓷件之间填充有隔热材料，石英管一端封口，另一端开口。