[实用新型]有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置有效
申请号: | 201220567812.0 | 申请日: | 2012-10-31 |
公开(公告)号: | CN202898524U | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 赵大庸;闫晓剑 | 申请(专利权)人: | 四川虹视显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/12;H05B33/10;H05B33/14;H01L51/56 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置,包括:腔体,所述腔体为桶状结构,两端分别与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接;所述腔体内设有一基板传递结构;所述基板传递结构包括基板支架和回转轴,所述基板支架固定于回转轴上与回转轴一起转动;本实用新型的有益效果:本实用新型的有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置连接现有量产线上的有机物蒸镀机和钝化膜蒸镀机,其主要部件是内部的基板传递机构,所述基板传递机构首先通过基板支架固定基板,然后在动力机构的带动下整个基板支架和基板随着回转轴转动180°后被传递到下一级设备,从而提高了量产线的工作效率。 | ||
搜索关键词: | 有机物 蒸镀机 钝化 层蒸镀机 对接 用基板 旋转 装置 | ||
【主权项】:
一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置,包括:腔体,所述腔体为桶状结构,两端分别与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接;其特征在于,所述腔体内设有一基板传递结构,用于传递和翻转基板;所述基板传递结构包括基板支架和回转轴,所述回转轴与腔体连接并可绕自身轴线转动,所述基板支架固定于回转轴上与回转轴一起转动;所述回转轴连接一动力机构,所述动力机构与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机协调控制回转轴转动。
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