[实用新型]一种石墨热场护盘压片有效
申请号: | 201220569752.6 | 申请日: | 2012-10-31 |
公开(公告)号: | CN202881442U | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 付雁清;周俭;李德建;陈昌林;陈建春 | 申请(专利权)人: | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人: | 另婧 |
地址: | 200062 上海市普陀区绿*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种石墨热场护盘压片,设置在石墨热场炉体底部,其特征在于:包括下护盘压片和护盘压片上盖,护盘压片上盖为有一定容积的下端开口的结构,护盘压片上盖的下沿与下护盘压片的上表面固定连接,在护盘压片上盖与下护盘压片之间形成一个可放置隔热材料的空腔,在下护盘压片和护盘压片上盖的空腔中填充隔热材料,使得在维持原护盘压片防护隔热材料的功能的基础上,还具有底部保温的功能,并且结构简单。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 热场护盘 压片 | ||
【主权项】:
一种石墨热场护盘压片,设置在石墨热场炉体底部,其特征在于:包括下护盘压片(1)和护盘压片上盖(2),护盘压片上盖(2)为有一定容积的下端开口的结构,护盘压片上盖(2)的下沿与下护盘压片(1)的上表面固定连接,在护盘压片上盖(2)与下护盘压片(1)之间形成一个可放置隔热材料的空腔,护盘压片上设置有供坩埚托杆(1‑13)和托杆护套(1‑10)通过的圆孔。
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