[实用新型]一种石墨热场护盘压片有效

专利信息
申请号: 201220569752.6 申请日: 2012-10-31
公开(公告)号: CN202881442U 公开(公告)日: 2013-04-17
发明(设计)人: 付雁清;周俭;李德建;陈昌林;陈建春 申请(专利权)人: 上海杰姆斯电子材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 代理人: 另婧
地址: 200062 上海市普陀区绿*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种石墨热场护盘压片,设置在石墨热场炉体底部,其特征在于:包括下护盘压片和护盘压片上盖,护盘压片上盖为有一定容积的下端开口的结构,护盘压片上盖的下沿与下护盘压片的上表面固定连接,在护盘压片上盖与下护盘压片之间形成一个可放置隔热材料的空腔,在下护盘压片和护盘压片上盖的空腔中填充隔热材料,使得在维持原护盘压片防护隔热材料的功能的基础上,还具有底部保温的功能,并且结构简单。
搜索关键词: 一种 石墨 热场护盘 压片
【主权项】:
一种石墨热场护盘压片,设置在石墨热场炉体底部,其特征在于:包括下护盘压片(1)和护盘压片上盖(2),护盘压片上盖(2)为有一定容积的下端开口的结构,护盘压片上盖(2)的下沿与下护盘压片(1)的上表面固定连接,在护盘压片上盖(2)与下护盘压片(1)之间形成一个可放置隔热材料的空腔,护盘压片上设置有供坩埚托杆(1‑13)和托杆护套(1‑10)通过的圆孔。
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