[实用新型]具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统

摘要

本实用新型属于测量技术领域，具体涉及一种具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统。包括，干泵，分子泵，超高真空全金属角阀；吸气剂泵，小孔，四极质谱计，真空室，分离规，复合型真空规，样品室，电容薄膜规等器件；系统复合了累积法、动态流量法及双通路法三种材料放气率测试方法，可测试气体流量范围为1Pam3/s～6×10-12Pam3/s(若表面积A＝6000cm2，放气率测量下限达1×10-15Pam3/(s cm2))，系统覆盖了13个数量级材料放气量测试范围，采用的对称结构设计，提高了测试效率和数据的可靠性；同时系统能够对超高真空规、质谱计及气体微流量的自校准功能，具有功能多，集成度高等特点。

主权项

具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统，其特征在于，该系统复合了累积法、动态流量法及双通路法三种材料放气率测试方法，集成了对真空规、质谱计的自校准功能；系统包括：第一干泵(1)、第二干泵(39)、第一分子泵(2)、第二分子泵(4)、第三分子泵(33)、第一超高全金属角阀(3)、第二超高全金属角阀(7)、第三超高全金属角阀(12)、第四超高全金属角阀(14)、第五超高全金属角阀(16)、第六超高全金属角阀(18)、第七超高全金属角阀(20)、第八超高全金属角阀(29)、第九超高全金属角阀(35)、第十超高全金属角阀(46)、吸气剂泵(5)、第一小孔(6)、第二小孔(13)、第三小孔(19)、第四小孔(45)、四极质谱计(8)、第一真空室(9)、第二真空室(31)、第一分离规(10)、第二分离规(17)、第一复合型真空规(11)、第二复合型真空规(36)、第一样品室(15)、第二样品室(21)、第三样品室(28)、第四样品室(47)、第一电容薄膜规(22)，第二电容薄膜规(38)、第一波纹管截止阀(23)，第二波纹管截止阀(24)、第三波纹管截止阀(25)、第四波纹管截止阀(27)、第五波纹管截止阀(30)、第六波纹管截止阀(37)、标准体积(26)、超高全金属插板阀(32)、电磁阀(34)、稳压室(40)、皮拉尼真空规(41)、KF25接口波纹管截止阀(42)、球阀(43)及气源(44)；其连接关系为：第一干泵(1)与第一分子泵(2)连接，第一超高全金属超高角阀(3)两端分别与第一分子泵(2)、第二分子泵(4)连接，第二分子泵(4)通过第一小孔(6)与第一真空室(9)连接；第二超高全金属角阀(7)一端与消气剂泵(5)连接，另一端与第一真空室(9)连接；四极质谱计(8)、分离规(10)、第三超高全金属角阀(12)及第二小孔(13)、第三小孔(19)分别与第一真空室(9)连接；复合型真空规(11)与第三超高全金属角阀(12)和第四小孔(45)连接，波纹管截止阀(24)的另一端与第四小孔(45)连接；第一样品室(15)分别与第四超高全金属角阀(14)、第五超高全金属角阀(16)连接，超高全金属角阀与第二小孔(13)连接，第二分离规(17)分别与第五超高全金属角阀(16)、第六超高全金属角阀(18)的一端连接；第六超高全金属角阀(18)、第七超高全金属角阀(20)的一 端分别与第二样品室(21)连接，第七超高全金属角阀(20)的另一端通与第三小孔(19)连接；第二真空室(31)分别与第一波纹管截止阀(23)、第五波纹管截止阀(30)、第六波纹管截止阀(37)、第八超高全金属角阀(29)、第九超高全金属角阀(35)、第十超高全金属角阀(46)及超高全金属插板阀(32)连接；第一电容薄膜规(22)与第一波纹管截止阀(23)、第二波纹管截止阀(24)、第三波纹管截止阀(25)的一端连接，标准体积(26)分别与第三波纹管截止阀的(25)、第四波纹管截止阀(27)及第五波纹管截止阀(30)的另一端连接；第二复合型真空规(36)与第九超高全金属角阀(35)的另一端连接，第二电容薄膜规(38)与第六波纹管截止阀(37)的另一端连接；稳压室(40)分别与皮拉尼真空规(41)、第四波纹管截止阀(27)、KF25接口波纹管截止阀(42)及球阀(43)连接，球阀(43)的另一端与气源(44)连接，KF25接口波纹管截止阀(42)的另一端分别与第二干泵(39)与电磁阀(34)连接；超高全金属插板阀(32)的另一端与第三分子泵(33)连接，电磁阀(34)的一端与第三分子泵(33)连接，另一端与KF25接口波纹管截止阀(42)和第二干泵(39)连接，第四样品室(47)和第十超高全金属角阀(46)连接。