[实用新型]用于固定长条镜的固定装置有效
申请号: | 201220575998.4 | 申请日: | 2012-11-02 |
公开(公告)号: | CN202948188U | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 黄静莉;宋兴龙 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提出的用于固定长条镜的固定装置通过添加压簧和固定簧片,用来增加对长条镜固定的稳定性,从而防止长条镜在运动过程中脱落;由于固定簧片具有一定的弹性,从而补偿长条镜的面形误差及温度变化引起的形变,进而降低整个装置测量结果的误差。 | ||
搜索关键词: | 用于 固定 长条 装置 | ||
【主权项】:
一种用于固定长条镜的固定装置,其特征在于,包括:用于安装长条镜的镜座;簧片调节座,固定在所述镜座上,并与所述长条镜平行设置;压簧组件,与所述簧片调节座连接,并抵压在所述长条镜上;具有弹性的固定簧片,与所述长条镜贴合,位于所述长条镜与所述簧片调节座之间;簧片调节螺钉,穿过所述簧片调节座与所述固定簧片连接。
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