[实用新型]一种多晶清洗机下料装片装置有效
申请号: | 201220581771.0 | 申请日: | 2012-11-07 |
公开(公告)号: | CN202933910U | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 胡海平;班群;方结彬;何达能;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00;H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文 |
地址: | 528100 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶清洗机下料装片装置,包括导轨、与所述导轨相契合的倾斜板,所述倾斜板上设有至少一硅片承载盒,所述硅片承载盒设有与硅片大小相适应的开口。所述倾斜板与水平面形成的角度为120度-150度。采用本实用新型,所述多晶清洗机下料装片装置实现自动下料装片,减少对硅片的污染,并提高生产效率,减少人工及人力成本。此外,所述多晶清洗机下料装片装置结构简单,易于产业化,应用范围广。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 清洗 机下料装片 装置 | ||
【主权项】:
一种多晶清洗机下料装片装置,其特征在于,包括导轨、与所述导轨相契合的倾斜板,所述倾斜板上设有至少一硅片承载盒,所述硅片承载盒设有与硅片大小相适应的开口。
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