[实用新型]用于加工单晶棒主参考标记的加工装置有效
| 申请号： | 201220584829.7 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN202964347U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 朱德富 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，包括滚磨机，滚磨机设置有磨头，其特征在于，所述滚磨机还包括可同步旋转的涡轮和蜗杆；所述涡轮安装于所述蜗杆上；蜗杆贯穿涡轮；滚磨机还包括与蜗杆相配合夹持单晶棒的尾架。本实用新型中的用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，主参考标记的加工与测量可在同一套装置上进行，无需多次拆卸、安装单晶棒，避免了多次拆卸安装时造成的误差。采用编码器，可以精确测量单晶棒的旋转角度，进而可以精确测量主参考标记的晶向偏移度。本实用新型中的加工装置，编码器采用每旋转一圈输出10000个脉冲，每个脉冲表示旋转2.16′。因此，检测单晶棒的旋转角度时可精确至2.16′。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 单晶棒主 参考 标记 装置 | ||
【主权项】：
用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，包括滚磨机，滚磨机设置有磨头，其特征在于，所述滚磨机还包括可同步旋转的涡轮和蜗杆；所述涡轮安装于所述蜗杆上；蜗杆贯穿涡轮；滚磨机还包括与蜗杆相配合夹持单晶棒的尾架。
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