[实用新型]硅单晶生长尾气排放用过滤筒有效
| 申请号： | 201220585217.X | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN202962167U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 韩建超;袁美君 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，包括圆柱形筒体，所述筒体设置有内腔，所述筒体设置有允许废气进入内腔的第一通孔，所述第一通孔与内腔连通；所述内腔内设置有圆柱形滤芯。本实用新型中的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，废气进入内腔时不是正对滤芯进入，因此可形成环绕滤芯的气流。在废气环绕滤芯流动过程中也会沿滤芯轴向流动，因此可增加滤芯的有效利用面积。有效利用面积大，可延长滤芯的因堵塞而需要更换或清洗的使用时间，降低生产成本。使用本实用新型中的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，过滤效果好，硅单晶生产良率高，可达到73%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 硅单晶 生长 尾气 排放 过滤 | ||
【主权项】：
硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，包括圆柱形筒体，所述筒体设置有内腔，所述筒体设置有允许废气进入内腔的第一通孔，所述第一通孔与内腔连通；所述内腔内设置有圆柱形滤芯。
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