[实用新型]一种多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置

摘要

本实用新型涉及薄膜与涂层制备技术领域，具体地说是一种多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置，解决现有技术中大颗粒、靶材刻蚀与涂层均匀性差、沉积效率低等问题。该离子镀弧源装置采用特种多功能多结构适应型离子镀枪配合结构优化的水冷法兰套作为整体弧源结构，离子镀枪的靶材底座后设有轴向辅助磁场装置，法兰套的外侧设有二极旋转横向磁场发生装置、聚焦导引磁场装置。通过三套磁场装置的耦合作用形成二极旋转横向磁场为主的其他磁场耦合的多型复合磁场。本实用新型既满足靶面附近的旋转磁场状态，改善弧斑放电形式，降低功率密度、减少大颗粒发射，又保证等离子体传输空间的磁场分布，提高等离子体的传输效率和传输均匀性。

主权项

一种多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置，其特征在于：该多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置采用特种多功能多结构适应型离子镀枪配合结构优化的水冷法兰套作为整体弧源结构，法兰套的外侧设有法兰套绝缘套，法兰套绝缘套的外侧设有二极旋转横向磁场发生装置；通过所述磁场装置的耦合作用形成二极旋转横向磁场为主的其他磁场耦合的多型复合磁场；法兰套中设有法兰套冷却水通道，法兰套底部开有与冷却水通道相通的法兰套出水口、法兰套进水口，法兰套冷却水通道的一端设置环形法兰盘，法兰盘边缘开有法兰连接孔；离子镀枪设有靶材、靶材底座、靶材屏蔽罩、冷却水进水管道、导磁环、靶材底柱、靶材底柱绝缘套、离子镀枪底盘绝缘盘、离子镀枪底盘、离子镀枪底盘紧固板、冷却水通道底座，靶材安装在靶材底座上，靶材的外侧设置靶材屏蔽罩，靶材底部与靶材底座冷却铜板紧密接触，通过靶材底座冷却铜板间接冷却；靶材底柱的内侧设置永磁体或导磁环和冷却水进水管道，永磁体或导磁环设置于冷却水进水管道的外侧；靶材底座中设置有靶材底座冷却通道隔板，靶材底座冷却通道隔板将靶材底座中的空腔分成靶材底座冷却水上通道和靶材底座冷却水下通道，靶材底座冷却通道隔板通过中间的圆孔焊接在与冷却水进水管道连通的靶材底座冷却水进水管上；靶材底座通过靶材底座盘安装在靶材底柱上，靶材底柱底部安装冷却水通道底座，靶材底柱的一端与冷却水通道底座连接，冷却水进水管道伸至冷却水通道底座中，与冷却水通道底座的进水口相通，冷却水通道底座与靶材底柱之间的通道与出水口相通；靶材底柱的另一端，通过靶材底柱连接管与靶材底座的靶材底座冷却水下通道相通；靶材底柱的外侧设置靶材底柱绝缘套，靶材底柱绝缘套的外侧设置离子镀枪底盘绝缘盘、离子镀枪底盘、离子镀枪底盘紧固板，离子镀枪底盘的一侧设置离子镀枪底盘紧固板，离子镀枪底盘紧固板通过靶材底柱绝缘套上的绝缘套盘与离子镀枪底盘隔开，离子镀枪底盘的另一侧设置离子镀枪底盘绝缘盘，电源接头端子安装在靶材底柱上；离子镀枪底盘通过离子镀枪底盘绝缘盘、离子镀枪底盘紧固板、靶材底柱绝缘套与靶材底柱安装，离子镀枪通过离子镀枪底盘的安装孔与法兰套底部螺纹孔连接安装形成整体离子镀弧源结构，离子镀枪通过法兰套前部的法兰盘与炉体进行连接。