[实用新型]一种用于MOCVD设备的进料设备

摘要

本实用新型公开了一种用于MOCVD设备的进料设备，包括进料筒、操作室和中转室，其中，所述的进料筒采用卧式柱体，前端设有进料门，侧面通过一出料门与操作室相通；所述的操作室为一密封的箱体，其正面上半部安装透明的有机玻璃，下半部安装一双与箱体密封，用于操作的长手套，其内安装有可转动的载物盘；所述的中转室为立式柱体，其与操作室和反应室之间设置有用于隔离的闸板阀。本实用新型进料设备具有独立、密封性优良的净化系统，满足各种基片的工艺需求。

主权项

一种用于MOCVD设备的进料设备，包括进料筒（1）、操作室（2）和中转室（3），其特征在于：所述的进料筒（1）采用卧式柱体，其后端密封，前端设有进料门（11），侧面通过一密封的出料门（12）与操作室（2）相通，进料筒内设有托物盘（13）；所述的操作室（2）为一密封的箱体，其正面上半部安装透明的有机玻璃（21），下半部安装一双与箱体密封，用于操作的长手套（22），其内安装有可转动的载物盘（23）；所述的中转室（3）为立式柱体，其与操作室和反应室之间设置有用于隔离的闸板阀（31），在靠操作室一侧的后部，设有载片盘暂存区，所述的中转室内装有机械手。