[实用新型]一种石英晶片腐蚀机

摘要

本实用新型是一种石英晶片腐蚀机，包括箱体，箱体内设有腐蚀液池和清洗池，在腐蚀液池和清洗池之间的台面上设有自动清洗摆动机构，自动清洗摆动机构包括的支臂上端通过转轴连接有横梁，横梁的前端连接有盛放晶片篮的清洗架，横梁内设有相互啮合的主动齿轮和从动齿轮，主动齿轮与横梁上的驱动电机输出轴相连，从动齿轮与清洗架相接；在腐蚀液池和清洗池上方分别设有与腐蚀液池连接的腐蚀液喷淋头以及与清洗池相连的清洗液喷淋头。本实用新型通过安装自动清洗摆动机构，可以使清洗架带动晶片篮在腐蚀液池和清洗池交替轮换，并使清洗架实现360°自动旋转，清洗、腐蚀更均匀，从而取代了人工操作，提高了工作效率，降低了工人劳动强度。

主权项

一种石英晶片腐蚀机，包括箱体，箱体内设有腐蚀液池和清洗池，其特征在于：在腐蚀液池和清洗池之间的台面上设有自动清洗摆动机构，所述的自动清洗摆动机构包括与气缸连接并驱动其升降的支臂，支臂上端通过转轴连接有横梁，横梁的前端连接有盛放晶片篮的清洗架，所述的横梁内设有相互啮合的主动齿轮和从动齿轮，主动齿轮与横梁上的驱动电机输出轴相连，从动齿轮与清洗架相接；在腐蚀液池和清洗池上方分别设有腐蚀液喷淋头和清洗液喷淋头，腐蚀液喷淋头通过腐蚀液管路与腐蚀液池连接，腐蚀液管路上设有腐蚀液喷淋泵，清洗液喷淋头通过清洗液管路与清洗池相连，清洗管路上设有清洗液喷淋泵。