[实用新型]加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机

摘要

本实用新型公开了一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，炉体上盖部分与可开合炉体部分的连接是炉体上盖部分的炉盖通过其孔、炉盖密封圈用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇和炉体右扇的半圆连板连接。炉体上盖部分与炉体下座部分的连接是炉体上盖部分的靶芯和工件分别与炉体下座部分的连接轴和紧固螺栓连接。炉体下座部分与可开合炉体部分的连接是炉体下座部分的炉底盘通过其孔和底盘密封圈用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇和炉体右扇的半圆连板连接。可开合炉体部分与液压控制轨道车部分的连接是液压控制轨道车部分的液压机械抓手与可开合炉体部分的炉体左扇连接。炉体部分由多节炉体左扇和多节炉体右扇连接构成，适合加工长型和超长型工件。

主权项

一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，它是由炉体上盖部分、可开合炉体部分、炉体下座部分、液压控制轨道车部分组成；其特征在于：炉体上盖部分与可开合炉体部分的连接是炉体上盖部分的炉盖（1）通过其孔、炉盖密封圈（41）用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇（21）和炉体右扇（22）的半圆连板（25）连接；炉体上盖部分与炉体下座部分的连接是炉体上盖部分的靶芯（8）和工件（9）分别与炉体下座部分的连接轴（38）和紧固螺栓（35）连接；炉体下座部分与可开合炉体部分的连接是炉体下座部分的炉底盘（34）通过其孔和底盘密封圈（44）用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇（21）和炉体右扇（22）的半圆连板（25）连接；可开合炉体部分与液压控制轨道车部分的连接是液压控制轨道车部分的液压机械抓手（15）与可开合炉体部分的炉体左扇（21）连接。