[实用新型]一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪

摘要

一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪，涉及一种测试仪。提供一种灵敏度较高、结构简洁、操作方便的可实现对半导体材料少数载流子寿命的无接触无破坏测量的一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪。设有微波系统、固体激光器、信号发生器和相移检测电路；所述微波系统设有压控振荡器、衰减器、谐振腔和检波器；所述固体激光器设于所述谐振腔下方；所述相移检测电路设有调制信号检测电路、光电导信号检测电路、矩形波生成电路、脉宽检测电路和微处理器；所述调制信号检测电路和光电导信号检测电路通过信号选择开关分别连接，采用工作于高Q值低损耗模的谐振腔，具有无接触、高灵敏度和易调谐的优点。结构简单、操作方便。

主权项

一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪，其特征在于设有微波系统、固体激光器、信号发生器和相移检测电路；微波系统设有压控振荡器、衰减器、谐振腔和检波器，压控振荡器输出端接衰减器输入端，衰减器输出端接谐振腔输入端，在谐振腔端盖上设有对称的LC谐振式孔缝，谐振腔输出端接检波器输入端，检波器信号输出端接相移检测电路；固体激光器设于所述谐振腔下方，固体激光器的激光光路对准所述LC谐振式孔缝；信号发生器的信号输出端分别接固体激光器调制信号输入端和相移检测电路的信号输入端；相移检测电路设有调制信号检测电路、光电导信号检测电路、矩形波生成电路、脉宽检测电路和微处理器；调制信号检测电路和光电导信号检测电路通过信号选择开关分别连接，调制信号检测电路设有依次连接的微分电路、过零方波转换电路、相移电路和分频电路；光电导信号检测电路设有依次连接的放大电路、微分电路、过零方波转换电路、相移电路和分频电路；放大电路的输入端通过信号选择开关分别与调制信号检测电路和光电导信号检测电路连接；调制信号检测电路的分频电路输出端接入矩形波生成电路输入端，光电导信号检测电路的分频电路的输出端也接入矩形波生成电路输入端，矩形波生成电路输出端接脉宽检测电路输入端，脉宽检测电路输出端接微处理器读取信号输入端，微处理器控制信号输出端分别接所述调制信号检测电路中的相移电路和分频电路的控制信号输入端，微处理器控制信号输出端分别接所述光电导信号检测电路中的放大电路、相移电路和分频电路的控制信号输入端。