[实用新型]同时生产三根硅芯的硅芯炉装置

摘要

本实用新型涉及一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置。其结构是提拉机械手与设备端以螺纹相连，籽晶轴头部悬挂并连接在提拉机械手上，提拉定位销与提拉定位槽相对应，进行定位，籽晶轴的尾端用螺母与籽晶盘相连接固定，籽晶盘与三个籽晶夹头用螺钉固定，籽晶安装在籽晶夹头上，线圈的法兰与设备端以螺钉连接，组成高频电回路及冷却水回路，籽晶转盘的中心孔与设备端用键和螺母进行定位紧固。本实用新型能够提高硅芯炉运行平稳性，大幅增加生产效率，并显著降低能耗，本装置的生产规格为3根／组，3组／炉。

主权项

一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置，它包括：线圈(1)、籽晶转盘(2)、籽晶轴(3)、籽晶盘(4)、提拉机械手(5)、籽晶(6)、硅棒(7)、籽晶夹头(8)、提拉定位槽(9)、提拉定位销(10)、放置定位销(11)、设备端(13)、内孔(14)、中孔(15)、水流槽(16)、强化槽孔(20)、放置定位槽(21)、轨道(22)、放置平台(23)构成，其特征在于：提拉机械手(5)与设备端(13)以螺纹相连，籽晶轴(3)头部悬挂并连接在提拉机械手(5)上，提拉定位销(10)与提拉定位槽(9)相对应，进行定位，籽晶轴(3)的尾端用螺母(12)与籽晶盘(4)相连接固定，籽晶盘(4)与三个籽晶夹头(8)用螺钉固定，籽晶(6)安装在籽晶夹头(8)上，线圈(1)的法兰(18)与设备端(13)以螺钉连接，组成高频电回路及冷却水回路，籽晶转盘(2)的中心孔(25)与设备端(13)用键和螺母进行定位紧固；所述的线圈(1)正盘面上有斜平面，背盘面上有直角台阶，线圈(1)盘面上有120°均布排列三个内孔(14)和预热的中孔(15)，均为通孔，正盘面上的孔面均为斜平面；强化槽孔(20)与中孔(15)相连为通孔，水流槽(16)在线圈(1)内部，与铜管(17)及法兰(18)形成冷却水回路，接地端(19)连接在线圈(1)上，并有一通孔；所述的籽晶转盘(2)的中心孔(25)与设备端轴通过键槽相连，籽晶转盘(2)以此轴为中心进行旋转；旋转籽晶转盘(2)盘面上设有轨道(22)及放置平台(23)，放置定位槽(21)与籽晶轴(3)上的放置定位销(11)相对应，轨道(22)、放置定位槽(21)为通孔，放置平台(23)为凹槽；所述的籽晶轴(3)头端为台锥体，台锥体的侧面有提拉定位销(10)，籽晶轴(3)中端为圆柱体，圆柱体的侧面设有放置定位销(11)，籽晶轴(3)尾 端为螺纹结构，通过螺母(12)把籽晶盘(4)固定在籽晶轴(3)上；所述的籽晶盘(4)上有120°均布的三个夹头螺孔(24)，用螺钉与籽晶夹头(8)固定；所述的提拉机械手(5)中心通透，顶部有螺孔与设备端(13)固定；底部有通孔为斜面，与籽晶轴(3)头端的台锥体相对应，并设有提拉定位槽(9)。