[实用新型]一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台有效
| 申请号： | 201220633393.6 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN202930353U | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 陈永;刘胜新;赵益弘 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N23/22 |
| 代理公司： | 郑州天阳专利事务所(普通合伙) 41113 | 代理人： | 童冠章 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，可有效解决多个样品难以调至同一水平高度，工作效率低，样品制备难度大的问题，其解决的技术方案是，包括台体、样品台体和螺杆，台体上有若干均布的竖向腔体，样品台体经其下部的螺杆装在腔体内，本实用新型新颖独特，结构简单，易生产，使用方便快捷，适用于各种场发射扫描电镜，通过调节样品台的螺杆升降装置，可实现对样品的同一水平高度快捷准确调节，有效地缩减了扫描过程中多次调节工作距离的时间，样品台可同时放置多个样品，以实现对多个小尺寸样品的同时装载，大大提高了工作效率，是扫描电镜样品台上方面的创新。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 不同 厚度 样品 平面 测试 扫描电镜 | ||
【主权项】：
一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，包括台体、样品台体和螺杆，其特征在于，台体（3）上有若干均布的竖向腔体（2），样品台体（1）经其下部的螺杆（4）装在腔体（2）内。
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