[实用新型]阴极安装过渡接口有效
| 申请号： | 201220633894.4 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN203007393U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李银生 | 申请（专利权）人： | 上海米开罗那机电技术有限公司;北京米开罗那机电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201315 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及溅射镀膜设备阴极与溅射室之间的连接接口，特别是一种阴极安装过渡接口。它包括一端连接在阴极的阴极波纹管接口；其特征在于：在溅射室门板上开一个过渡孔，该阴极波纹管接口的另一端穿过过渡孔连接到一过渡板上，该过渡板再通过固定元件连接到溅射室门板上并覆盖过渡孔。它主要解决现有技术中溅射室门板上开一个小孔，直接将波纹管接口装在该小孔上，由于小孔过小，人手无法伸进去，操作起来很不方便的技术问题，操作简单、方便。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 安装 过渡 接口 | ||
【主权项】：
一种阴极安装过渡接口，它包括一端连接在阴极（1）的阴极波纹管接口（2）；其特征在于：在溅射室门板（3）上开一个过渡孔（31），该阴极波纹管接口（2）的另一端穿过过渡孔（31）连接到一过渡板（4）上，该过渡板（4）再通过固定元件连接到溅射室门板（3）上并覆盖过渡孔（31）。
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