[实用新型]金属层线宽测量装置有效
| 申请号： | 201220637335.0 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN202903138U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘杰;曲泓铭;安峰;张光明;李伟;宋泳珍;郑云友;吴成龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种金属层线宽测量装置，包括：光发射装置，包括发射检测光信号的发光单元；光接收装置，与所述光发射装置相对设置，接收所述光发射装置发出的光信号并生成光强信号；所述光发射装置和光接收装置分别位于被测基板两侧；信号处理装置，与所述光接收装置连接，对所述光接收装置接收的光强信号进行处理，得到测量结果。本实用新型通过光发射装置和光接收装置保持同步扫描金属膜层，通过分析光发射装置和光接收装置接收到的信号强度变化，计算金属层线宽值，结构简单、使用方便、测量结果准确可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 层线宽 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种金属层线宽测量装置，其特征在于，包括：光发射装置，包括发射检测光信号的发光单元；光接收装置，与所述光发射装置相对设置，接收所述光发射装置发出的光信号并生成光强信号；所述光发射装置和光接收装置分别位于被测基板两侧；信号处理装置，与所述光接收装置连接，对所述光接收装置接收的光强信号进行处理，得到测量结果。
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