[实用新型]一种用于单晶炉的四通式抽气管道有效
申请号: | 201220642269.6 | 申请日: | 2012-11-28 |
公开(公告)号: | CN203007501U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 任丙彦;边志坚;马辉东;杜彦玲;李润飞;李永哲;高琴伟;贾存龙 | 申请(专利权)人: | 河北晶龙阳光设备有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 石家庄汇科专利商标事务所 13115 | 代理人: | 刘闻铎 |
地址: | 055550 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于单晶炉的四通式抽气管道,包括管道主体,其特征在于:抽气管道的出气口与一个十字型的四通接头的一个接口进行连接,四通接头的与抽气管道的出气口呈90°分布的其中一个接口为出气接口,四通接头的其余两个接口均为清扫口,两个清扫口上分别设置有密封扣合装置,密封扣合装置包括清扫口法兰、盖板、合页和密封圈。盖板翻转开合实现管道腔体开闭,可以两方位清扫抽气管道。当腔体内炉体内腔的压力高于设计压力时盖板受到一个向外运动的作用力打开,使炉体内腔的高压气体外溢导致炉腔内的压力减小,盖板在自重分力作用下回归到原来位置,直到盖板再次将炉体内的气体与大气隔离。 | ||
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【主权项】:
一种用于单晶炉的四通式抽气管道,包括管道主体,其特征在于:抽气管道的出气口与一个十字型的四通接头的一个接口进行连接,四通接头的与抽气管道的出气口呈90°分布的其中一个接口为出气接口,四通接头的其余两个接口均为清扫口,两个清扫口上分别设置有密封扣合装置。
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