[实用新型]一种激光相干衍射显微成像装置有效
申请号: | 201220645458.9 | 申请日: | 2012-11-30 |
公开(公告)号: | CN202956532U | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 江怀东;张剑;刘宏;范家东 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | G02B21/36 | 分类号: | G02B21/36;G02B21/00;G01N21/45 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 李健康 |
地址: | 250061 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种激光相干衍射显微成像装置,所述装置沿光束前进方向依次共轴排列有激光器、衰减片、第一透镜、第一光阑、第二透镜、第二光阑、样品台、挡板和CCD图像传感器,以及能实现CCD图像传感器左右、上下、前后移动的步进架,和连接CCD图像传感器的计算机。本实用新型利用透镜组和衰减片压缩光束,提高光通量,分辨率能提高到亚微米;利用CCD图像传感器移动,分别采集高角度和低角度的衍射信号,能合成为单幅衍射图样;利用旋转样品的方法实现三维立体成像,并且能进行动态的实时成像。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 相干 衍射 显微 成像 装置 | ||
【主权项】:
一种激光相干衍射显微成像装置,其特征在于:所述装置沿光束前进方向依次共轴排列有激光器(1)、衰减片(2)、第一透镜(3)、第一光阑(4)、第二透镜(5)、第二光阑(6)、样品台(7)及固定其的旋转支架、挡板(8)和CCD图像传感器(9),以及能实现CCD图像传感器左右、上下、前后移动的步进架,和连接CCD图像传感器的计算机(10);其中所述衰减片、第一透镜、第一光阑、第二透镜、第二光阑固定在光具座上,所述挡板固定在CCD图像传感器上,CCD图像传感器固定放置在两个相互垂直的能左右、上下移动的步进架上,然后再固定在能沿光路方向前后移动的步进架上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东大学,未经山东大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201220645458.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:由至少两个壁元件构成的组合结构
- 下一篇:磨削物件表面的磨削设备及其使用方法