[实用新型]一种激光相干衍射显微成像装置有效

专利信息
申请号: 201220645458.9 申请日: 2012-11-30
公开(公告)号: CN202956532U 公开(公告)日: 2013-05-29
发明(设计)人: 江怀东;张剑;刘宏;范家东 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: G02B21/36 分类号: G02B21/36;G02B21/00;G01N21/45
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 李健康
地址: 250061 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种激光相干衍射显微成像装置,所述装置沿光束前进方向依次共轴排列有激光器、衰减片、第一透镜、第一光阑、第二透镜、第二光阑、样品台、挡板和CCD图像传感器,以及能实现CCD图像传感器左右、上下、前后移动的步进架,和连接CCD图像传感器的计算机。本实用新型利用透镜组和衰减片压缩光束,提高光通量,分辨率能提高到亚微米;利用CCD图像传感器移动,分别采集高角度和低角度的衍射信号,能合成为单幅衍射图样;利用旋转样品的方法实现三维立体成像,并且能进行动态的实时成像。
搜索关键词: 一种 激光 相干 衍射 显微 成像 装置
【主权项】:
一种激光相干衍射显微成像装置,其特征在于:所述装置沿光束前进方向依次共轴排列有激光器(1)、衰减片(2)、第一透镜(3)、第一光阑(4)、第二透镜(5)、第二光阑(6)、样品台(7)及固定其的旋转支架、挡板(8)和CCD图像传感器(9),以及能实现CCD图像传感器左右、上下、前后移动的步进架,和连接CCD图像传感器的计算机(10);其中所述衰减片、第一透镜、第一光阑、第二透镜、第二光阑固定在光具座上,所述挡板固定在CCD图像传感器上,CCD图像传感器固定放置在两个相互垂直的能左右、上下移动的步进架上,然后再固定在能沿光路方向前后移动的步进架上。
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