[实用新型]晶圆测试探针卡有效
| 申请号： | 201220676323.9 | 申请日： | 2012-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN203011961U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 马金明 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 刘述生 |
| 地址： | 225109 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种晶圆测试探针卡，其包括底座、多个焊接位、摆针部、第一探针组及第二探针组，多个焊接位设于底座的特定位置，摆针部设于底座上，第一探针组及第二探针组并排设于连接部上，底座、连接部及并排设置的第一探针组、第二探针组形成三层堆栈结构。本实用新型通过将探针卡的摆针位置设计成足够摆放两组探针的空间，以达到能同时测试两颗晶圆的效果，提高生产效益，进而达到公司降低成本，增加营利的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 探针 | ||
【主权项】：
一种晶圆测试探针卡，其包括底座、多个焊接位、摆针部及第一探针组，其特征在于，所述晶圆测试探针卡进一步包括第二探针组，多个焊接位设于底座的特定位置，摆针部设于底座上，第一探针组及第二探针组并排设于连接部上，底座、连接部及并排设置的第一探针组、第二探针组形成三层堆栈结构。
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