[实用新型]调节式布气系统及包含其的磁控溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201220680331.0 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN202936476U | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 陈宇 | 申请（专利权）人： | 广东志成冠军集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种调节式布气系统及包含其的磁控溅射镀膜装置，包括至少两根平行设置的布气管，每根布气管上均设置流量计，相邻两根布气管上错列设置吹气部，吹气部是由多个规格相同的均匀排列的气孔构成，每个气孔沿布气管的径向开设，多个气孔在布气管沿其轴向依次布置。通过将布气系统设置为至少两根布气管，并在相邻两根布气管上错列设置吹气部，可以使布气系统吹出的气体能均匀的到达靶面，保证膜层均匀；通过在布气管上设置流量计，使气体的流量可实时的调节，即根据靶面距待镀膜物体表面的距离、镀膜厚度的不同，精确的调节气体的流量，并且能使各个布气管上吹出的气体的流量相等，达到实时控制、精确镀膜的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 式布气 系统 包含 磁控溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种调节式布气系统，其特征在于，包括至少两根平行设置的布气管，每根所述布气管上均设置流量计，相邻两根所述布气管上错列设置吹气部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东志成冠军集团有限公司，未经广东志成冠军集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220680331.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种LPCVD系统
- 下一篇：音频指纹检索方法及装置
- 同类专利
- 专利分类
