[实用新型]一种磁控溅射镀膜腔室有效
| 申请号： | 201220688746.2 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN202989275U | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 龙永洪;李建根;徐伯永 | 申请（专利权）人： | 成都南玻玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 王芸;刘雪莲 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜腔室，包括设置于溅射室的内部的网罩，所述网罩与溅射室可拆卸连接，通过在溅射室的内部以可拆装的方式设置有网罩，在减少掉渣的同时，更容易清洁，当需要清洁网罩时，只需要将网罩拆下，并通过喷砂、或其他工序进行清洁即可，清洁速度快、效率高，维护成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜腔室，包括设置于溅射室的内部的网罩，其特征在于：所述网罩与溅射室可拆卸连接。
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