[实用新型]太阳能硅片及电池片缺陷检测系统有效

专利信息
申请号: 201220689156.1 申请日: 2012-12-13
公开(公告)号: CN203055872U 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 王利顺;陈利平;裴世铀;李波 申请(专利权)人: 苏州中导光电设备有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 昆山四方专利事务所 32212 代理人: 盛建德
地址: 215311 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种太阳能硅片及电池片缺陷检测系统,光致荧光检测平台上设有能够传信于处理器的少子寿命探测器,电致荧光检测平台上设有能够给样品施加直流电源的加电装置,且该加电装置、样品和电致荧光检测平台能够形成一个导电回路,少子寿命检测模块能够朝光致荧光检测平台发射闪光,激光照明系统能够朝光致荧光检测平台和电致荧光检测平台之一发射激光,图像采集系统能够采集样品发出的荧光图像并传信给处理器,本实用新型一台设备可以分别进行光致荧光检测、电致荧光检测、少子寿命测试和串联电阻测试,样品缺陷检测分析全面、准确,且无需反复更换设备,操作方便,有效提高工作效率,节约了生产成本。
搜索关键词: 太阳能 硅片 电池 缺陷 检测 系统
【主权项】:
一种太阳能硅片及电池片缺陷检测系统,其特征是:包括机架、样品放置平台、处理器(12)、少子寿命检测模块(1)、图像采集系统(4)和激光照明系统(5),所述少子寿命检测模块(1)、图像采集系统(4)和激光照明系统(5)分别固设于机架上,样品放置平台包括固定于机架上的导轨(3)和能够沿导轨(3)滑动的光致荧光检测平台(2)及电致荧光检测平台(7),所述光致荧光检测平台(2)上设有少子寿命探测器(10),该少子寿命探测器(10)传信于处理器(12),所述电致荧光检测平台(7)上设有能够给样品(11)施加直流电源的加电装置(16),且该加电装置(16)、样品(11)和电致荧光检测平台(7)能够形成一个导电回路,少子寿命检测模块(1)能够朝位于设定位置的光致荧光检测平台(2)上的样品(11)发射闪光,激光照明系统(5)能够朝光致荧光检测平台(2)和电致荧光检测平台(7)之一上的样品(11)发射激光,图像采集系统(4)能够采集处于设定位置的样品(11)发出的荧光图像并传信给处理器(12)进行分析和处理。
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