[实用新型]太阳能硅片及电池片缺陷检测系统有效
申请号: | 201220689156.1 | 申请日: | 2012-12-13 |
公开(公告)号: | CN203055872U | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 王利顺;陈利平;裴世铀;李波 | 申请(专利权)人: | 苏州中导光电设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人: | 盛建德 |
地址: | 215311 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能硅片及电池片缺陷检测系统,光致荧光检测平台上设有能够传信于处理器的少子寿命探测器,电致荧光检测平台上设有能够给样品施加直流电源的加电装置,且该加电装置、样品和电致荧光检测平台能够形成一个导电回路,少子寿命检测模块能够朝光致荧光检测平台发射闪光,激光照明系统能够朝光致荧光检测平台和电致荧光检测平台之一发射激光,图像采集系统能够采集样品发出的荧光图像并传信给处理器,本实用新型一台设备可以分别进行光致荧光检测、电致荧光检测、少子寿命测试和串联电阻测试,样品缺陷检测分析全面、准确,且无需反复更换设备,操作方便,有效提高工作效率,节约了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 太阳能 硅片 电池 缺陷 检测 系统 | ||
【主权项】:
一种太阳能硅片及电池片缺陷检测系统,其特征是:包括机架、样品放置平台、处理器(12)、少子寿命检测模块(1)、图像采集系统(4)和激光照明系统(5),所述少子寿命检测模块(1)、图像采集系统(4)和激光照明系统(5)分别固设于机架上,样品放置平台包括固定于机架上的导轨(3)和能够沿导轨(3)滑动的光致荧光检测平台(2)及电致荧光检测平台(7),所述光致荧光检测平台(2)上设有少子寿命探测器(10),该少子寿命探测器(10)传信于处理器(12),所述电致荧光检测平台(7)上设有能够给样品(11)施加直流电源的加电装置(16),且该加电装置(16)、样品(11)和电致荧光检测平台(7)能够形成一个导电回路,少子寿命检测模块(1)能够朝位于设定位置的光致荧光检测平台(2)上的样品(11)发射闪光,激光照明系统(5)能够朝光致荧光检测平台(2)和电致荧光检测平台(7)之一上的样品(11)发射激光,图像采集系统(4)能够采集处于设定位置的样品(11)发出的荧光图像并传信给处理器(12)进行分析和处理。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造