[实用新型]蓝宝石晶体生长炉数字化控制系统

摘要

本实用新型公开了一种蓝宝石晶体生长炉数字化控制系统，包括主控制器模块、人机交互模块、炉压监控系统和运动控制系统，炉压监控系统包括压力变送器、控压泵和变频器，变频器与主控制器模块相接；运动控制系统包括与主控制器模块相接的CANopen分线盒，以及通过CANopen总线与CANopen分线盒相接的坩埚杆伺服驱动器和籽晶杆伺服驱动器，坩埚杆伺服驱动器的输出端接有坩埚杆伺服电机，坩埚杆伺服驱动器的输入端接有坩埚杆电机编码器，籽晶杆伺服驱动器的输出端接有籽晶杆伺服电机，籽晶杆伺服驱动器的输入端接有籽晶杆电机编码器。本实用新型接线简单，智能化程度高，使用操作便捷，控制精度高，故障率低，稳定性和可靠性高。

主权项

一种蓝宝石晶体生长炉数字化控制系统，其特征在于：包括主控制器模块（1）、与主控制器模块（1）相接的人机交互模块（2）和用于对蓝宝石晶体生长炉内压力进行监控的炉压监控系统，以及用于对蓝宝石晶体生长炉内坩埚杆和籽晶杆的运动进行控制的运动控制系统，所述炉压监控系统包括用于对蓝宝石晶体生长炉内压力进行实时检测的压力变送器（3）、用于对蓝宝石晶体生长炉内压力进行实时控制的控压泵（4）和用于对控压泵（4）的电机进行变频调速的变频器（5），所述变频器（5）与所述主控制器模块（1）的输出端相接；所述运动控制系统包括与所述主控制器模块（1）相接的CANopen分线盒（6），以及通过CANopen总线与所述CANopen分线盒（6）相接的坩埚杆伺服驱动器（7）和籽晶杆伺服驱动器（8），所述坩埚杆伺服驱动器（7）的输出端接有用于带动坩埚杆运动的坩埚杆伺服电机（9），所述坩埚杆伺服驱动器（7）的输入端接有用于对坩埚杆伺服电机（9）的运转位置和速度进行检测的坩埚杆电机编码器（10），所述籽晶杆伺服驱动器（8）的输出端接有用于带动籽晶杆运动的籽晶杆伺服电机（11），所述籽晶杆伺服驱动器（8）的输入端接有用于对籽晶杆伺服电机（11）的运转位置和速度进行检测的籽晶杆电机编码器（12）。