[实用新型]用于半导体制程的辅助加热罩

摘要

本实用新型提供一种用于半导体制程的辅助加热罩。辅助加热罩用以罩于一玻璃基板上。玻璃基板具有一顶面、一底面及位于顶、底两面的周缘之间的一环立面，玻璃基板的顶面镀有反应材料。辅助加热罩包括一罩体及一环墙。该罩体具有一支撑墙及一盖板。支撑墙的顶部连接盖板，且环绕于盖板的周缘。支撑墙的底部抵靠于玻璃基板的顶面，且环绕玻璃基板的周围。盖板间隔面对玻璃基板的顶面。环墙形成于罩体的外周缘，且有一连接部及延伸自连接部的一凸伸部。凸伸部正对玻璃基板的环立面。

主权项

一种用于半导体制程的辅助加热罩，其特征在于，罩于一玻璃基板上，该玻璃基板具有一顶面、一底面及位在顶、底两面的周缘之间的一环立面，该玻璃基板的顶面有反应材料，该辅助加热罩包括： 一罩体，具有一支撑墙及一盖板，该支撑墙的顶部连接该盖板，且环绕于该盖板的周缘，使得该支撑墙及该盖板之间形成一腔体，其中，该支撑墙的底部抵靠于该玻璃基板的顶面，且环绕该玻璃基板的周围，该盖板面对该玻璃基板的顶面；及 一环墙，形成于该罩体的外周缘，且有一连接部及一凸伸部，该连接部延伸自该支撑墙及该盖板，该凸伸部延伸自该连接部，且低于该支撑墙的底部，其中，该环墙的凸伸部正对该玻璃基板的环立面。