[实用新型]线弯曲监控系统和线锯装置有效
| 申请号： | 201220708461.0 | 申请日： | 2012-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN203204380U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | N·埃尔·哈达维 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/18 | 分类号： | G05B19/18;B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡林岭 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于半导体线锯装置的线弯曲监控系统。线弯曲监控系统包括传感器布置，所述传感器布置经配置以邻近于线锯装置的线定位，其中传感器布置适合检测线的弯曲，其中传感器布置包括感应传感器、电容传感器和接触传感器中的至少一个。 | ||
| 搜索关键词： | 弯曲 监控 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种线弯曲监控系统(10)，所述线弯曲监控系统(10)包含： 传感器布置(20)，所述传感器布置(20)经配置以邻近于所述线锯装置(100)的线(30)定位，其中所述传感器布置(20)适合检测所述线(30)的弯曲，其中所述传感器布置(20)包括感应传感器(22)、电容传感器(22)和接触传感器(22)中的至少一个。
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