[实用新型]微电子产品多场服役特性测试仪

摘要

本实用新型公开了一种微电子产品多场服役特性测试仪，属于微电子产品可靠性测试与评估设备技术领域。该测试仪采用分体结构，由控制柜和实验箱两部分组成。温度控制系统，电流加载系统和信号测试及采集系统集成在控制柜内。温度控制系统控制冷却系统和加热器调整实验箱内的温度及温度变化；电流加载系统对待测样品施加电流载荷；信号测试及采集系统测试、采集和存储待测样品的电压和电阻信号。低温制冷系统经制冷管道与实验箱连接。实验箱由箱体外壳、保温层、透明观察窗、加热器、风机、样品支持系统组成，样品支持系统由样品托架，测试板、引线转连接接口构成。本实用新型可以实现微电子产品在多场条件下的加速服役特性测试及服役寿命预测。

主权项

一种微电子产品多场服役特性测试仪，其特征在于：该测试仪包括实验箱（1）、控制柜（2）、温度控制系统（3）、加热器（8）、冷却系统（7）、信号测试及采集系统（5）、电流加载系统（4）和样品支持系统（13）；温度控制系统（3）、信号测试及采集系统（5）、电流加载系统（4）和冷却系统（7）设置于控制柜（2）内；其中：所述加热器（8）设置于实验箱（1）内部下侧，所述冷却系统（7）经制冷管道（9）接入实验箱（1）内部，所述温度控制系统（3）与所述加热器（8）和冷却系统（7）相连接，用于根据预先设定的温度值控制所述加热器（8）及冷却系统（7）的工作状态；所述样品支持系统（13）置于实验箱（1）内部，包括样品托架和测试板，测试板包括母板（15）和子板；所述母板（15）插接固定于样品托架上的专用接口（18）内，母板（15）上设置若干插槽（19），子板分别插接于母板（15）上的各个插槽（19）内，测试样品与子板电连接；所述电流加载系统（4）通过测试板上的子板与测试样品电连接，用于对待测微电子产品施加电流载荷；所述信号测试及采集系统（5）通过测试板上的子板与测试样品电连接，用于测试和采集待测微电子产品的电流、电压、电阻和温度信号，采用多通道数字采集方式进行数据测量及存储，存储的数据传输到计算机中存储以待后续分析和处理，且可根据阻抗变化实现样品失效报警。