[实用新型]一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置有效
| 申请号： | 201220718854.X | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN203007396U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型系提供一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置，其系将不锈钢内抛光容器由卡套接管接至进气管前方，而该不锈钢内抛容器另一端再以卡套衔接所需要的两种反应气体，不锈钢抛光容器内部设置4片气体隔板，厚度3mm，长度150mm，与容器壁间隔50mm，隔板间有50mm的间距，以左右对称的形式设置在容器内，再焊接达到密封，当两种气体分别由进气管引入后，因压力差的关系，会沿着不锈钢内抛容器设置的隔板前进，而隔板左右对称安装增长了气体行进路径，同时也让气体有足够的时间在充入进气管前充分混合，使溅射沉积的薄膜能达到想要的混合的反应比例。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异质结 太阳能电池 溅射 气体 混合 装置 | ||
【主权项】：
一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置，该混合装置有两个制程气体进入口及一个气体引出出口，通过内置气体隔板的设置使气体流通路径变长，而在此路径中两种制程气体充分混合。
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