[实用新型]蒸镀用掩模板有效
申请号: | 201220723266.5 | 申请日: | 2012-12-25 |
公开(公告)号: | CN203021638U | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 唐军 | 申请(专利权)人: | 唐军;钱超 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人: | 张志醒 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种蒸镀用掩模板,包括板框和拉直固定于板框上的掩模板,掩模板上设置有规则排列的多个蒸镀孔,所述多个蒸镀孔位于掩模板的中央,所述蒸镀孔的外围设置有至少一排缓冲孔,缓冲孔与所述蒸镀孔平行设置。本实用新型使得在蒸镀用掩模板制造过程中、制造完成后及生产过程中,蒸镀孔不会受力变形,在生产大尺寸的蒸镀用掩模板时,效果更加明显,因此可以有效地提高掩模板的精度和稳定性,显著提升OLED显示屏特别是大尺寸OLED显示屏的制造精度,降低制造成本。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀用掩 模板 | ||
【主权项】:
一种蒸镀用掩模板,包括板框和拉平固定于板框上的掩模板,所述掩模板上设置有规则排列的多个蒸镀孔,其特征在于:所述多个蒸镀孔位于掩模板的中央,所述蒸镀孔的外围设置有至少一排缓冲孔,每个所述缓冲孔与所述蒸镀孔平行设置。
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