[实用新型]一种再利用硅片清洗机有效
| 申请号： | 201220726839.X | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN203030566U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 齐海洋;李盼;孙双庆 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/02;B08B3/12;B08B3/08;B08B3/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种再利用硅片清洗机，包括槽体部分和管路部分，所述槽体部分包括紧密相邻且并排设置并且互不相通的超声槽、酸槽、纯水槽和喷淋槽，所述管路部分包括进水主管和多个带有开关阀的进水支管，所述进水支管与所述超声槽、酸槽、纯水槽和喷淋槽一一对应。该再利用硅片清洗机可以有效缩小再利用硅片在处理过程中的流转空间，从而节省流转时间，提高生产效率，并最终降低企业的生产成本，提高企业利润。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 再利用 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
一种再利用硅片清洗机，其特征在于，包括槽体部分和管路部分，所述槽体部分包括紧密相邻且并排设置并且互不相通的超声槽（10）、酸槽（11）、纯水槽（12）和喷淋槽（13），所述管路部分包括进水主管（8）和多个带有开关阀的进水支管（6），所述进水支管（6）与所述超声槽（10）、酸槽（11）、纯水槽（12）和喷淋槽（13）一一对应。
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