[实用新型]一种硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201220727879.6 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN203046014U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘华;付红平;张存新;郝刚 | 申请（专利权）人： | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 338000 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片清洗装置，其设于多线切割机内，所述硅片清洗装置包括喷淋管道，所述切割钢线相对设置有用于切割的第一切割面和第二切割面，所述第一切割面和所述第二切割面分别设有第一侧和第二侧，所述第一侧和所述第二侧分别位于所述第一切割面和所述第二切割面上方，每两组所述砂浆喷嘴分别位于所述第一侧和所述第二侧，且所述砂浆喷嘴轴线方向与所述导轮轴线方向平行，所述喷淋管道与所述砂浆喷嘴并行排放且置于两组所述砂浆喷嘴之间，所述喷淋管道管壁上开有一沿喷淋管道轴心方向的喷淋结构，所述喷淋结构用于喷淋出液体。本实用新型主要提供一种结构简单和硅片清洗效率高效的硅片清洗装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗装置，其设于多线切割机内，所述多线切割机包括四个排放成矩形的导轮、多根切割钢线以及四组砂浆喷嘴，多根所述切割钢线依次缠绕在四个所述导轮上且相应的形成两个用于切割的矩形切割线网，其特征在于，所述硅片清洗装置包括喷淋管道，两个所述切割钢线网分别包括第一切割面和第二切割面，所述第一切割面和所述第二切割面分别设有第一侧和第二侧，所述第一侧和所述第二侧分别位于所述第一切割面和所述第二切割面上方，每两组所述砂浆喷嘴分别位于所述第一侧和所述第二侧，且所述砂浆喷嘴轴线方向与所述导轮轴线方向平行，所述喷淋管道与所述砂浆喷嘴并行排放且置于两组所述砂浆喷嘴之间，所述喷淋管道管壁上开有一沿喷淋管道轴心方向的喷淋结构，所述喷淋结构用于喷淋出液体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西赛维LDK太阳能高科技有限公司，未经江西赛维LDK太阳能高科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220727879.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
