[实用新型]一种晶体生长炉有效
申请号: | 201220733239.6 | 申请日: | 2012-12-27 |
公开(公告)号: | CN203174225U | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 吕铁铮 | 申请(专利权)人: | 江苏有能光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/20 |
代理公司: | 成都高远知识产权代理事务所(普通合伙) 51222 | 代理人: | 全学荣 |
地址: | 212132 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种晶体生长炉,包括炉体、坩埚、坩埚盖、环形加热器,环形加热器位于炉体内,坩埚位于环形加热器中,其中,坩埚盖的直径大于坩埚外径,略小于内部环形加热器的内径。本实用新型晶体生长炉的坩埚盖既能作为坩埚盖使用,又能有效地起到顶部隔热屏的作用,降低顶部所需隔热屏的层数,提高保温绝热性能,降低能耗,降低制造成本及生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 | ||
【主权项】:
一种晶体生长炉,包括炉体、坩埚、坩埚盖、环形加热器,环形加热器位于炉体内,坩埚位于环形加热器中,其特征在于:坩埚盖的直径大于坩埚外径,略小于内部环形加热器的内径。
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