[实用新型]一种铜铟镓硒薄膜电池控制系统有效
| 申请号： | 201220734675.5 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203007382U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 于素豪 | 申请（专利权）人： | 汉能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/24;C23C14/54;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种铜铟镓硒薄膜电池控制系统，尤其涉及一种共蒸发法制备铜铟镓硒薄膜工艺中的控制系统，其包括真空室、蒸发源、基片、加热模块和控制系统，所述控制系统仅包括温度控制系统。本实用新型通过温度变化为控制特征的控制系统实现了铜铟镓硒薄膜电池制备工艺低成本，以及通过控制系统直接影响系统制备CIGS薄膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜铟镓硒 薄膜 电池 控制系统 | ||
【主权项】：
一种铜铟镓硒薄膜电池控制系统，包括真空室、蒸发源、基片、加热模块和控制系统，其特征在于所述控制系统仅包括温度控制系统。
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