[实用新型]F-θ物镜II

摘要

本实用新型涉及一种可用于激光材料加工的扫描设备的F-θ物镜。这些透镜L1至L4与其之间的空隙d3、d5、d7的相继连接的设置形成了255mm的总焦距f。该F-θ物镜对于1064nm的波长进行校准。

主权项

一种F‑θ物镜，其特征在于，所述F‑θ物镜包括四个独立的透镜，其中一个第一独立的透镜L1为一个具有焦距f1的双凹透镜，一个第二独立的透镜L2为一个具有焦距f2的凹凸透镜，一个第三独立的透镜L3为一个具有焦距f3的平凸透镜，以及一个第四独立的透镜L4为一个具有焦距f4的双凸透镜，并且所述F‑θ物镜的总焦距为f；其中焦距f1至f4与总焦距f的比率满足下列条件：‑0.6

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