[实用新型]光刻显影装置

摘要

本实用新型提供的光刻显影装置，包括用于向玻璃基板喷涂显影液的喷涂装置以及用于使玻璃基板与喷涂装置相对移动的传送装置，喷涂装置包括控制器以及多个可以喷涂不同浓度的显影液的喷涂单元，每个喷涂单元包括多个喷嘴，每个喷嘴用于喷涂单一浓度的显影液，控制器通过分别控制喷涂单元的每个喷嘴的开启与关闭而控制喷涂单元喷涂不同浓度的显影液。本实用新型的光刻显影装置中的每个喷涂单元可以喷涂不同浓度显影液，这样在工作过程中，每个喷涂单元可以根据玻璃基板的不同位置以及显影时间向玻璃基板喷涂不同浓度的显影液，这样避免在玻璃基板不同的位置处显影后得到的关键尺寸偏差产生不同，由此保证玻璃基板上不同位置处的显影效果的均一性。

主权项

一种光刻显影装置，包括用于向玻璃基板喷涂显影液的喷涂装置以及用于使所述玻璃基板与所述喷涂装置相对移动的传送装置，其特征在于，所述喷涂装置包括控制器以及多个可以喷涂不同浓度的显影液的喷涂单元，每个所述喷涂单元包括多个喷嘴，每个所述喷嘴用于喷涂单一浓度的显影液，所述控制器通过分别控制所述喷涂单元的每个喷嘴的开启与关闭而控制所述喷涂单元喷涂不同浓度的显影液。