[实用新型]膜厚量测装置有效
| 申请号： | 201220746621.0 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203011347U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 邵任民;黄志伟;刘安钧;洪羿达 | 申请（专利权）人： | 昱成光能股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种膜厚量测装置，包含一个本体、一对跨架、一个滑座、一支量测杆及一个量测件，所述跨架分别沿一条第一轴线相对该本体伸出或缩入，该滑座能沿该第一轴线移动且安装于该本体，且位于所述跨架之间，该量测杆安装于该滑座，且能沿一条垂直于该第一轴线的第二轴线相对于该滑座产生位移，该量测件安装于该量测杆。利用该量测装置对覆膜前、后的一个坩埚进行量测，就能量测膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 膜厚量测 装置 | ||
【主权项】：
一种膜厚量测装置，包含一个本体、一对跨架、一个滑座、一支量测杆及一个量测件，该膜厚量测装置的特征在于：该本体，具有一个第一端、一个相反于该第一端的第二端、一个由该第一端延伸至该第二端的第一轴线及一个设置于该第一端与该第二端之间且沿该第一轴线设置的第一刻度；所述跨架，能移动且安装于该本体，且能分别沿该第一轴线相对于该第一端、该第二端伸出或缩入；该滑座，能沿该第一轴线移动且安装于该本体，且位于所述跨架之间；该量测杆，安装于该滑座，且能沿一条垂直于该第一轴线的第二轴线相对于该滑座产生位移；及该量测件，安装于该量测杆。
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