[实用新型]晶圆清洗刷和晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 201220748957.0 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203018351U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 唐强;汪坚俊;施成;李佩;马智勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置，所述的晶圆清洗刷，包括弹性刷筒、弹性刷头以及刷轴，所述弹性刷筒套设于所述刷轴的外侧，所述弹性刷筒的内、外圆周表面分别设有若干所述弹性刷头。由于弹性刷筒具有良好的收缩性，且所述弹性刷筒的内、外圆周表面分别设有若干弹性刷头，当外圆周表面的弹性刷头磨损后，可以将弹性刷筒内外翻过来重新套设于刷轴上，使得内圆周表面的弹性刷头位于外侧，从而可以提高弹性刷筒的使用寿命，降低材料成本。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆清 洗刷 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆清洗刷，其特征在于，包括弹性刷筒、弹性刷头以及刷轴，所述弹性刷筒套设于所述刷轴的外侧，所述弹性刷筒的内、外圆周表面分别设有若干所述弹性刷头。
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