[发明专利]直动装置在审
| 申请号： | 201280000747.6 | 申请日： | 2012-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN103703279A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 山本和史;大久保努 | 申请（专利权）人： | 日本精工株式会社 |
| 主分类号： | F16H25/22 | 分类号： | F16H25/22 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种直动装置，其能够极力抑制在滚动体滚动通道和滚动体之间产生的微粒向装置外流漏出的量，正好适合半导体制造装置或液晶显示面板制造装置等的清洁环境。在直动装置（1）中，一对密封部件（7）分别形成为这样的形状：在安装于移动部件（3）的状态下，在沿着与轨道部件（2）的轴向正交的方向进行切断时，所述一对密封部件（7）分别相对于轨道部件（2）具有0.025～0.15mm的范围的间隙（δ），在滚动体滚动通道（5）和滚动体（4）之间涂布有混合稠度在175以上且在250以下的润滑脂。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种直动装置，其具备：轨道部件，其沿轴向延伸，并在外周面具有滚动体滚动部；移动部件，其在内周面具有与所述滚动体滚动部相对的负载滚动体滚动部，该移动部件相对于所述轨道部件能够相对移动；多个滚动体，其能够滚动自如地装填在由所述滚动体滚动部和所述负载滚动体滚动部形成的滚动体滚动通道内；滚动体循环通道，其使所述滚动体滚动通道的起点和终点连通而形成环状的滚动体通路；以及一对密封部件，其安装于所述移动部件的轴向两端，所述直动装置的特征在于，所述一对密封部件分别形成为这样的形状：在安装于所述移动部件的状态下，在沿着与所述轨道部件的轴向正交的方向进行切断时，所述一对密封部件分别相对于所述轨道部件具有0.025～0.15mm的范围的间隙，在所述滚动体滚动通道和所述滚动体之间涂布有混合稠度为175以上且在250以下的润滑脂。
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