[发明专利]平面面板显示器用玻璃基板及其制造方法

摘要

本发明的平面面板显示器用玻璃基板由下述玻璃构成，且热收缩率为75ppm以下；以摩尔%表示，上述玻璃含有55～80%的SiO2、3～20%的Al2O3、3～15%的B2O3、及3～25%的RO(MgO、CaO、SrO及BaO的总量)，且SiO2、Al2O3及B2O3的以摩尔%表示的含有率满足(SiO2+Al2O3)/(B2O3)=7.5～17的关系，应变点为665℃以上，且失透温度为1250℃。其中，上述所谓热收缩率是指使用实施升降温速度为10℃/分、于550℃保持2小时的热处理后的玻璃基板的收缩量，利用下述式所求出的值。热收缩率(ppm)={热处理后的玻璃基板的收缩量/热处理前的玻璃基板的长度}×106。

主权项

一种形成p‑Si‑TFT的平面面板显示器用玻璃基板，其由下述玻璃构成，且热收缩率为75ppm以下；以摩尔%表示，上述玻璃含有55～80%的SiO2、3～20%的Al2O3、3～15%的B2O3、及3～25%的RO，SiO2、Al2O3及B2O3的以摩尔%表示的含有率满足(SiO2+Al2O3)/(B2O3)=7.5～17的关系，所述玻璃的应变点为665℃以上，且失透温度为1250℃以下；其中，RO是MgO、CaO、SrO及BaO的总量，上述热收缩率是指使用实施升降温速度为10℃/分、于550℃保持2小时的热处理后的玻璃基板的收缩量，利用下述式所求出的值，热收缩率(ppm)={热处理后的玻璃基板的收缩量/热处理前的玻璃基板的长度}×106。